第1622章 突破阿贝极限!(1 / 2)
第1622章 突破阿贝极限!
「常院士,这是……?」栾文杰环顾四周,有些不解。
相比旁边关乎国家半导体命脉的光刻机测试,这里的设备显得过于「普通」了。
「一项纯光学的……原理性验证实验。」常浩南言简意赅,目光落在栗亚波身上,「我们准备了快半年,最近才真正具备了测试条件。」
「纯光学?验证什麽?」栾文杰心中的疑惑更甚。
「很快您就知道了。」常浩南依旧卖了个关子,示意栾文杰耐心观看,目光也投向了栗亚波的操作。
只见栗亚波最后确认了一下所有光学元件的共轴性,然后极其小心地将一块巴掌大小丶表面布满极其细微黑白条纹的金属板插入一个特制的靶标架中,并微调了一下位置和角度。
接着走到控制电脑前,手指在键盘上快速敲击了几下。
嗡……
一声轻微的启动声,位于平台一端的光源被点亮。
霎时,一束鲜艳夺目的红色雷射束激射而出,经过扩束准直后变成一道直径大约几个毫米的平行红光,射入中间黑色的遮光罩内。
而当光线从另一端射出时,已经略带上了一丝难以察觉的模糊感。
最终,这束光线投射在数米开外的精密成像屏上,形成一个边界柔和的光斑。
「红光?」栾文杰有些惊愕地低呼出声,「还是可见光?」
在他的认知里,要突破极限,理应使用波长更短的紫外光甚至极紫外光才对。
常浩南似乎早料到他有此一问,平静地解释道:
「我们要测试的,是一个理论上『不可能』被传统透镜实现的结果……如果使用波长太短的光,那麽……对测试系统本身的精度和噪声要求会很高,甚至大概率无法测出有效结果。」
他这边话音刚落,一直紧盯电脑屏幕的栗亚波已经抬起头:
「找到了。」
从他的脸上看不出太多情绪,但声音有些发颤:
「成像清晰!我找到靶标的成像结果了!」
「快!」
常浩南立刻上前几步,接替栗亚波坐到了显示器前面。
栾文杰也按捺不住好奇,迅速凑到旁边。
屏幕上显示的并非什麽复杂的电路,而是一系列明暗相间丶等宽等距的竖条纹图案。
条纹边缘锐利,对比度极高。
他快速搜索了一下脑海中的知识,并没有想起来符合当前场景的答案。
但看着面前师生二人的这副架势,已经能冥冥中感觉到,眼前这东西恐怕不太寻常。
好在,常浩南并没有让对方的疑惑持续太久。
「这是解析度测试靶标的一部分。」他指着屏幕上的竖条纹解释道,「根据光学成像的瑞利判据,使用波长λ=632.8nm的可见红光时,一个传统透镜的理论解析度极限δ大约是0.61λ/ NA……换算到我们这个系统里,大概是在316nm左右。」
他指着屏幕上最清晰的那组条纹旁边标注的一组编号:
「您看这里,第10组第5元素,它对应的线对宽度是308nm……也就是说,对于一块正常意义上的透镜而言,在632.8nm波长下,不应该看清楚靶标上第10组第5元素以下的图案。」
常浩南说到这里,刻意停顿了一下:
「但是……」
他没有继续说下去,而是移动滑鼠,在屏幕上快速搜索着。
很快,光标停留在屏幕靠左侧的一个区域。那里清晰地呈现出一个由三条竖直亮线组成的图案,亮线之间是等宽的黑线。
这个图案在屏幕上的标注正是「Group 10, Element 5」!
「嗯?」
栾文杰失声惊呼,身体不由自主地前倾,几乎要贴到屏幕上。
瑞利判据是物理学基础,他刚才已经听明白了这个测试的意思。
308nm,已经超过,至少是贴近了632.8nm波长所对应的解析度极限
然而,眼前的三条亮线是如此清晰锐利,边缘平滑,没有一丝一毫的模糊或弥散感。
根本不像是在逼近理论极限,反而像是在分辨一个远大于极限的物体!
常浩南脸上依旧保持着那种掌控一切的平静,没有立刻解答栾文杰的震惊。
他只是再次移动滑鼠控制着屏幕上的成像区域向下移动。
画面切换,来到了标注为「Group 10, Element 6」的区域。
这里的线条图案更加细密。
然而,图形中的三条亮线依旧清晰可辨。
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