第1623章 超解析度光刻（2 / 2）

「所以刚才的光，是先经过透镜照射到这块平板上成像，然后平板上的像……再被那个成像屏接收并显示出来？」

「正是如此。」常浩南点头赞许栾文杰的敏锐观察，「当然那个成像屏也可以阻挡光路，以免高强雷射束射出测试范围，对其它设备或者人造成影响。」

栾文杰下意识伸出手，想要在透镜和平板旁边比划一下。

但旋即想起这东西恐怕不能乱碰，于是又缩了回去问道：

「那为什麽要把成像平板紧贴着透镜放？」

「实际上是有缝隙的，大约1.5微米。」常浩南用手势比划了一个极其微小的距离，「只是肉眼难以分辨罢了。」

他戴上特制的防静电手套，极其小心地取下了那块位于透镜和平板之间的核心平板——那才是真正的成像元件。

然后，开始回答对方最开始的问题。

「衍射极限之所以存在，根本原因在于传统透镜无法将光聚焦到一个小于半波长的区域。」

常浩南将那块特殊的平板捏手中，展示到栾文杰面前：

「但我们的思路是，让光线在一组折射率绝对值相等但符号相反的材料界面上发生『负折射』。」

他指向透镜和手中的平板：

「具体说，就是让从目标物体上发散出来的光线，在我们这块由负折射率材料制成的平板上实现聚焦，理论上就能绕过衍射极限的束缚，真正实现完美成像。」

说话间，目光扫过屏幕上那不太清晰的173nm解析度靶标图案。

于是又补充道：

「当然，实际操作中，材料的虚部损耗和界面阻抗不匹配的问题会引入损耗，影响倏逝波的传输距离和最终的分辨力，所以还做不到理论上的完美成像……但把有效成像解析度压缩到衍射极限的一半左右，就像刚才看到的那样，还是非常轻松的。」

「如果使用频谱宽度更窄丶更纯净的光源，结合材料工艺的进一步优化，大概还能进一步推到四分之一。」

栾文杰站在原地感觉大脑里像是经历了一场信息风暴。

常浩南的解释每一个字他都听见了，但那些术语——「负折射」丶「倏逝波」丶「阻抗匹配」丶「虚部损耗」——组合在一起，却形成了一个他难以在短时间内完全理解和消化的全新物理图景。

那种感觉，不是简单的「不懂」，而是认知框架被强行拉伸丶甚至局部撕裂的冲击感。

这比单纯看到突破极限的结果更让他心神震动。

足足有半分钟，他只是看着常浩南手中的那块平板，又看看屏幕上清晰的图像，嘴唇动了动，却没能发出声音。

作为工建委主任他深知这种颠覆性技术的战略价值，但正因如此，那份源于未知的沉重感才更加强烈。

不过，哪怕这周围没有外人，如此目瞪口呆的样子也不适合维持太长时间。

「咳咳……」

栾文杰清了清嗓子，准备暂时略过光学理论部分，将话题拉回到更务实的层面：

「常院士，我明白了……嗯，至少明白这意义非凡。」他指指屏幕，「这个测试结果……我能不能拷贝一份带回去？向上级汇报时，这个直观的证据比任何语言都更有说服力。」

常浩南却摆摆手：

「栾主任，这个测试作为原理验证是成功的，但作为向非专业人士展示的材料，还是太抽象了。」

华夏的决策层多数是理工科出身不假，但几十年远离一线技术工作，未必还能想起来多少具体的知识。

他把手中的镜片放回原位，继续道：

「我计划用我们基于负折射原理制作的透镜，和一块传统PMMA（有机玻璃）透镜，同时对一幅专门设计的丶包含200nm线宽特徵的复杂微结构图案进行曝光成像，然后用原子力（AFM）显微镜对二者的成像结果进行表面形貌扫描。」

「到时候，把AFM扫描出来的三维形貌图并排放在一起——一边是细节清晰丶边缘锐利的图像，另一边是糊成一团丶根本分辨不出结构的『马赛克』……视觉冲击力会更强。」

这个方案显然经过了深思熟虑，哪怕不懂物理的人，也能一眼看出差别。

「好！这个好！」栾文杰想像着那两幅对比鲜明的图像，紧绷的神经终于舒缓了一些， 「非常直观！那我就等着你这边的AFM对比图了！」

(本章完)